装置ラインアップ





WA1000
(ウエハ接合)12”対応開発装置
WFP2000
Multi SAB対応量産装置
WF1500
(常温直接接合)量産装置
WP100
(プラズマ接合)開発装置
WS1500
(Au,ハンダSAB接合)量産装置
WP1500
(プラズマ陽極接合)量産装置
WAP1000
(SABプロセス)開発装置
HBWS3000
(プラズマ親水化接合)12”対応量産装置
WM1500
(樹脂接合)量産装置

HBCW3000
Hybrid Bonding対応COW量産装置
BG3000
COW→WOW統合システム

SCA1000
光素子、3Dチップ用高精度ボンダー
CG100
Cu還元活性化接合装置

NI2000
(熱・UVナノインプリント)
8"ウエハ対応量産装置
SR2000
ステップ&リピートナノインプリント装置
